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SEMI F57标准介绍
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SEMI F57用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送超纯水(UPW)的超高纯度(UHP)聚合物材料和组件的最低性能要求。主要针对聚合物材料和组件的性能要求和验证。
国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。半导体先进制程工艺中使用的超纯水，超纯化学品的使用要求日益提高，材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要，对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI F57标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过 程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。
SEMI F57标准适用产品
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ICAS英格尔自2000年创立以来，切实把握国家战略需要、着眼行业痛点，构建“国家+企业双轮驱动”的业务战略格局，在质量保证、清洁能源、创新研发、市场服务、企业服务和战略合作等领域多元化发展，突破行业业务模式，打造开放式创新赋能平台。
未来，ICAS英格尔将继续坚持需求驱动发展，创新铸就未来，打造一流的客户服务体验，让每一位客户实现“加速业务成长，提升核心竞争力，共创可持续发展”。
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